YAMADA 山田光学 YP-150I 高亮度卤素强光灯 晶圆表面缺陷检查光源

日本 YAMADA 山田光学 YP-150I 高亮度卤素强光灯，是面向半导体、光电面板行业开发的精密目视检测光源，对标 FUNATECH 船越龙系列检查光源，广泛用于晶圆、液晶玻璃、光学基板抛光后微小缺陷目视筛查。整机为日本原装成套配置，由光源主机、HPS-150 电源控制器、立式调节支架组合而成，依靠超高聚光照度、冷镜隔热光路，实现微米级划痕、雾斑、抛光不均、颗粒异物的可视化检出，是光学质检工位的主流选型。

在核心配置方面，YP-150I 搭载 150W 高性能卤素发光单元，配套专用 HPS-150 电源控制器，支持电压稳定调节，输出光源光谱连续、显色性优异，还原工件表面真实光影对比。卤素光源本身具备高亮度、高对比度的优势，搭配内置冷反射镜光路结构，可过滤大部分红外热辐射，也就是行业常说的冷光源效果。和普通卤素灯不同，该结构大幅降低传导到工件表面的热量，长时间照射晶圆、ITO 薄膜等热敏基材时，避免工件受热变形、膜层损伤，适配连续量产质检场景。整套光源标配可升降立式金属支架，镜头照射角度、照射高度自由调节，适配不同尺寸基板与检测工位布局。

产品性能参数上，YP-150I 在标准照射距离下，中心照度可达 400000Lux 以上，远高于常规 LED 检查光源，强光条件下低对比度细微缺陷更容易显现。光源光斑集中、边界清晰，适合小面积定点观测，针对 6 英寸及以内晶圆、小型光学镜片、精密抛光件检测效果突出。供电支持 AC100~240V 宽电压输入，国内工况直接接入 220V 市电即可使用，电源控制器自带数字显示屏，实时显示输出参数，运行状态直观可控。光源灯泡属于常规耗材，更换流程简单，配套备件供应稳定，方便产线长期维护。

在结构设计上，整机采用封闭式散热壳体，壳体表面开设散热格栅，保障卤素光源长时间工作稳定散热；光路腔体做遮光处理，减少杂散光干扰，保证缺陷观察时画面干净。支架底座厚重稳固，检测过程不易晃动，保证光斑位置稳定。整机结构简洁，无多余外置管路，占用空间小，可直接集成在光学检测台、洁净工作台内部，满足 Class100 洁净车间使用要求。设备无复杂电控逻辑，上手门槛低，质检人员经过简单培训即可操作，适配工厂大批量巡检、实验室抽检等多种工作模式。

YP-150I 的应用场景高度聚焦精密光学缺陷检测。半导体领域，用于硅片 CMP 抛光工序后，检查表面微划痕、滑移线、雾状缺陷、抛光残留颗粒；光电面板行业，用于液晶基板、盖板玻璃、光学薄膜、ITO 导电膜表面脏污、划伤、斑点排查；同时也适用于光学镜头、滤光片、光伏光学元件、精密注塑光学件的外观品质检验。

很多客户会将 YP-150I 与 LED 型表面检查灯做对比，二者定位有明显区别。山田 YP-150I 依靠卤素连续光谱和超高照度，在高反光抛光基材的微弱缺陷检出上优势明显；LED 光源优势在于长寿命、低发热。采购时可根据工件材质、缺陷类型、产线维护需求选型。该机型为标准成品机型，主机、电源、支架成套出货，滤光配件可按需选配，适合半导体、光学自动化设备厂商、第三方检测实验室采购。