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产品简介
product
产品分类| 品牌 | DIC/迪爱生 | 价格区间 | 2万-5万 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,农林牧渔,制药/生物制药,综合,半导体 |
1、山金工业 DIC 迪爱生大流量纯水防静电装置基础规格参数
产品型号：eFLOW 2AP-B01安装类型：面板机架式，兼容 EIA 标准工业机架处理流量：5–30L/min膜模组配置：搭载 2 组 PF-001L-ND2 中空纤维膜组件电阻率调控区间：0.1~15MΩ・cm供电规格：AC100-240V 通用电压管路材质：高纯 PP、氟树脂，无金属离子析出核心配件质保：原厂 CO₂溶解模块
2、设备工作原理
1.脱气环节：超纯水通入中空纤维内腔，膜外侧负压真空抽取，脱除水中溶解氧、多余二氧化碳，消除清洗工序气泡水印、喷淋针孔缺陷。
2.防静电控阻环节：一路纯水单独制备 CO₂饱和纯水，通过管路配比与原生超纯水混合；微量二氧化碳电离出导电离子，降低纯水电阻率，快速导出水流与基板摩擦产生的静电，无需额外添加化学药剂，不破坏纯水洁净度。
3.产品核心特点
结构简约稳定，无复杂搅拌、增压动部件，设备故障概率低，运维工作量小。
专用分流管路设计，产线流量波动时，出水电阻率波动幅度小，控阻稳定性强。
水路压力损耗低，原有超纯水管道可直接加装，无需额外增压设备，降低产线改造成本。
全水路接触部件采用高纯洁净材质，无杂质析出，适配晶圆、光罩等高洁净制程。
支持选配全清洁规格管路接头，满足更高等级半导体洁净车间使用需求。
4、山金工业 DIC 迪爱生大流量纯水防静电装置适用行业与工艺用途
半导体行业：晶圆、光罩、掩模版高压喷淋清洗、槽式浸泡清洗、切割工序纯水冲洗，避免静电击穿精细线路、粉尘静电二次吸附基板。
精密电子：电路板、电池片纯水清洗制程，管控水体静电，降低产品不良率。
光学精密加工：光学元件、玻璃基板水洗工序，消除气泡水印与静电吸附灰尘问题。
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