山金工业 ULVAC 爱发科 皮拉尼真空计
ULVAC 爱发科，日本真空设备厂商，创立于 1952 年。主营真空泵、各类真空计、检漏仪、镀膜设备及真空零部件。产品覆盖粗真空至高真空全区间，广泛应用于半导体、光学、锂电、化工及科研领域，拥有完整的测量、获取真空相关仪器产品线，在*真空行业拥有较多应用案例。

山金工业  ULVAC 爱发科  皮拉尼真空计

山金工业  ULVAC 爱发科  皮拉尼真空计

ULVAC 爱发科这一系列真空计，包含皮拉尼、电离、电容薄膜等多种测量原理，覆盖从粗真空到高真空的宽广压力区间，由主机、控制单元、传感探头组成，广泛配套真空泵、真空腔体，用于半导体、镀膜、科研、化工、热处理设备的真空压力监测。

SW100‑A、SW100‑R、SWU10‑U 属于皮拉尼型真空计，依靠热传导原理测压，用于粗‑中真空区间；SP1、SC1 为配套传感探头，可搭配对应主机使用，实现信号采集。GP‑1000G、GP‑2001G、GP‑1G 为通用皮拉尼真空计，量程适配常规工业真空设备，具备模拟信号输出，方便接入设备 PLC 实现联动。

ST200 系列（A/R‑E）、SH200 系列（A/R‑E）属于复合式真空测量单元，集成多段量程，部分型号具备外部控制、报警输出功能，可做现场显示也可作为控制器使用。GI‑D7 (WIT)、GI‑D7 (WIB) 属于电离真空计，针对高真空环境，用于检测极低压力，多用于镀膜、科研高真空腔体。CCMT‑1000D、CCMT‑100D、CCMT‑10D、CCMT‑1D 为电容薄膜真空计，不受气体种类影响，测量稳定性好，不同型号对应不同满量程，覆盖从 1000Pa 到 1Pa 档位。

产品用途分为多个方向。一是工业真空设备配套，真空镀膜机、热处理炉、真空烧结腔体，实时监测腔体内部真空度；二是半导体与锂电设备，监测工艺腔体压力，辅助工艺判断；三是实验室科研，真空系统调试、真空设备校验；四是化工行业真空装置，监测负压工况，辅助生产管控。部分型号带报警、通讯输出，可接入整机控制系统。

使用时需要区分设备测量原理，皮拉尼计读数会受气体种类影响；电容薄膜计气体兼容性更好。电离计注意不要在过高压力下开启，避免损坏灯丝。探头需要按周期清洁维护，避免油污粉尘沉积影响测量精度。设备安装时注意振动、温度环境，远离热源。需要联动自动化系统时，核对输出信号规格。选型时根据实际真空量程、是否需要信号输出、控制功能挑选对应型号，以此保障真空压力监测的数据可靠。