MIYUKI 美幸辉 O 圈 CF 管路阀 AE‑C160
株式会社美幸辉 MIYUKI 源自日本，专注真空蝶阀研发制造多年。品牌产品覆盖气动、手动、电动多款真空阀门，适配多种真空法兰标准。产品广泛应用于真空镀膜、新材料、精细化工、锂电、光学等行业真空管路系统，可满足腔体通断、气流调控等工艺需求，面向工业真空设备配套提供可靠流体控制元器件。

MIYUKI 美幸辉 O 圈 CF 管路阀 AE‑C160

MIYUKI 美幸辉 O 圈 CF 管路阀 AE‑C160

SE 系列直通式阀

关键参数：适配 NW 法兰连接，通径 N16‑N50；阀体材质 SUS316，内部腔体抛光处理；适用真空至中压工况，驱动形式气动；漏率满足高真空管路标准，启闭响应速度较快。本系列为直通结构，管路流向直线贯通，流阻较低，适合半导体设备内部直连管路，用于工艺气体通断控制，可安装在真空腔体前端、供气分支管路，不改变管路走向，便于管路布局排布。

AB/AE/ABR/AER L 型真空阀

关键参数：覆盖 NW、JIS、CF 多种法兰接口，通径 N16‑J250；AB、ABR 采用波纹管密封结构，可隔离外部污染物；AE、AER 采用 O 型圈密封；ABR/AER 增加抗振动结构；阀体 SUS316，气动驱动；波纹管版本可适配烘烤工况，O 圈版本侧重常规真空。L 型 90° 转向结构，改变管路流向。AB 波纹管密封，无外部气体渗入风险，适合高真空腔体；AE O 圈密封，维护便捷；ABR 与 AER 强化抗振性能，适配设备运行存在振动的工位。多用于半导体真空腔、传输管路、工艺气旁路，实现气路切换、隔离腔体，不同法兰规格适配各类真空设备接口。

AEH 系列 L 型阀

关键参数：NW 法兰 N16‑N50，SUS316 阀体，改良密封组件，可承受更高烘烤温度，气动驱动，L 型转向结构。针对有升温烘烤需求的真空管路开发，密封件耐受温度优于普通 AE 系列，用于半导体腔体除气烘烤工位，腔体烘烤时维持阀门密封，完成烘烤后进行气路隔离，适配需要周期性加热除气的真空系统。

PER 系列电磁驱动阀

关键参数：通径 N25、N40，电磁驱动，SUS316 阀体，NW 法兰，响应速度快，无需外接气源供电即可启闭。区别气动阀，依靠电磁力完成阀门动作，适合气源布置不便的半导体小型工艺气支路，实现气体快速通断，用于局部供气单元、小型真空预处理模块。

IV/IP 系列气动排气阀

关键参数：IV‑P15、IV‑N25、IP‑F38、IP‑N25；气动驱动，多类法兰接口；阀体 SUS316，用于腔体泄压排气。主要承担真空腔体排气泄压工作，半导体工艺结束后，对腔体内进行复压排气，避免泄压速度过快冲击腔体内部器件，搭配真空腔使用，完成工序后的腔体回大气操作，保障腔体内部部件安全。

整体来看，全系列阀门适配半导体真空及工艺气体管路，覆盖通断、转向、烘烤、快速驱动、排气泄压多种功能，接口规格丰富，可匹配设备不同管路接口，选型时可结合密封形式、振动条件、烘烤温度、管路通径来确定对应型号。