原厂直发 LINTEC 琳得科高温耐腐蚀专用 MFC
LINTEC 琳得科是日本专业流体控制设备制造企业，专注研发、生产气体质量流量控制器，产品覆盖高速响应、通用量产、经济型、高温耐腐蚀多系列。设备采用自研温度补偿流量传感器与压电控制阀，金属密封结构密封性稳定，适配半导体、面板、光伏、实验室等多领域气体流量精密控制，支持多类数字总线通讯。

1、MC-7000 系列（MC-7100C/7200C/7100D/7200D）

1. 流量量程：氮气换算 10SCCM~20SLM，控制区间 2%-100% FS

2. 精度：25%-100% FS 为 ±1.0% SP，2%-25% FS 为 ±0.25% FS；重复性 ±0.2% FS

3. 响应速度 0.2 秒，耐压 1MPa，泄漏率≤1×10⁻¹¹Pa・m³/s（He）

4. 通讯：C 型号 EtherCAT 总线，D 型号 DeviceNet 总线；压电式控制阀，常闭 / 常开可选

   适用用途

   适配半导体 8/12 寸晶圆产线，用于刻蚀、PECVD 薄膜沉积；可兼容 Cl₂、WF₆等腐蚀性特种气体，适配对流量响应速度有较高要求的精密制程。

5. 

2、MC-5000 系列（MC-5100C/5200C/5250C/5460C/5470C/5580C、MC-5100L/5200L/5250L/5460L/5470L）

1. 流量量程：10SCCM~200SLM，覆盖微小流量至大流量工艺需求

2. 精度：10%-100% FS±1.0% SP，2%-10% FS±0.25% FS，重复性 ±0.2% FS

3. 耐压 1MPa，金属硬密封结构，适配多种工艺气体；C 款 EtherCAT，L 款 DeviceNet 数字通讯

   适用用途

   半导体、OLED 面板、光伏 HJT 镀膜产线通用型流量控制器；适配氮气、氩气、氧气等常规工艺气体，满足批量量产设备配套，可多路并联同步气体配比。

3、MC-3000 系列（MC-3102L/3202I/3252L/3452L/3462L/3472L/3582L、MC-3102S）

1. 流量量程 10SCCM~200SLM，响应时间 1 秒，精度 ±1.0% FS，重复性 ±0.2% FS

2. MC-3102S 为低压差专用款，适配升华固态源、液化气体；I 型号支持 0-5V 模拟信号输出

3. 金属密封，工作温度 5~50℃，RS485 数字通讯，结构紧凑体积小巧

   适用用途

   实验室研发设备、中小型镀膜设备、气体分析仪器；低压差型号适配低气压工艺，经济型配置适配预算有限的研发与小批量产线。

4. 

4、简易基础款（MC-710/720/730、MC-10RC/11RC）

1. 中小流量量程，模拟 + 简易数字双信号输出，响应时间 1 秒，基础精度 ±1.0% FS

2. 结构简化，安装维护便捷，适配常规常压工艺气体，耐压 1MPa

   适用用途

   通用工业气体配比、小型实验装置、教学仪器；基础款成本适中，适用于无高精度高速响应需求的常规气体控制场景。

5、MM 高温耐腐蚀系列（MM-3102L/3202L/3252L/3452L/3462L/3472L/3582L、MM-3102L-TN/MM-3202L-TN）

1. 支持最高 120℃高温工况，耐腐蚀性强化密封材质，适配高温液化气体、腐蚀性气态前驱体

2. 流量量程 10SCCM~200SLM，精度 ±1.0% FS，RS485 数字通讯；TN 型号耐化学腐蚀性能进一步提升

   适用用途

   高温薄膜沉积、ALD 高温前驱体供气、特种腐蚀气体高温输送；适配需要持续高温烘烤管路的半导体先进制程。