进口 KOHZU 神津精机 真空位移旋转台
KOHZU 神津精机，日本精密定位设备厂商，专注精密位移平台、电动滑台、手动微调台研发制造。依托交叉滚子导轨技术，产品定位精度高，广泛用于光学、半导体、车载摄像模组等领域。

进口 KOHZU 神津精机 真空位移旋转台

进口 KOHZU 神津精机 真空位移旋转台

KOHZU 神津精机真空兼容定位台，是专为真空腔体内精密位移控制场景开发的电动定位平台，产品分为真空兼容 X 台、真空兼容 Z 轴平台、真空兼容旋转台、真空兼容旋转平台四大类别，适配半导体、光学镀膜、真空检测、材料分析等真空环境下的样品定位、光路对准、试样微调等需求。整套平台经过真空脱气处理，低放气材料构建，可在高真空腔体环境稳定工作，满足工业设备与实验室仪器的精密运动控制要求。

产品结构说明

真空兼容定位台在结构设计上和普通大气环境位移台存在明显差异。平台主体选用低放气铝合金与不锈钢基材，零部件经过高温烘烤脱气处理，减少真空环境下气体析出，避免污染腔体内部样品与光学元件。密封件选用适配真空工况的特种材质，降低出气量。X 系列真空位移台，为单轴直线运动结构，支持左右两种安装方向，适配腔体内狭小空间安装；Z 轴真空平台，实现垂直方向升降调节，用于样品高度微调；真空旋转台与真空旋转平台，负责角度回转调节，可完成样品旋转、周向定位。电机、传动机构做真空适配优化，内部润滑使用真空专用润滑脂，不会在真空环境挥发污染腔体。平台可搭配对应控制器，实现远程位移控制，方便操作人员在腔体外部完成样品位置调节。

选型要点

选型首先确认腔体真空度，确认平台可承受的真空环境，避免超出产品适用工况。其次确认运动轴类型，直线位移选择真空 X 台；高度升降调节选用真空 Z 轴平台；角度回转选用真空旋转类平台。其次确认行程、负载重量，样品与夹具总负载不能超过平台额定承载，防止运动卡顿。同时确认腔体内安装空间，核对平台外形尺寸，选择适配安装空间的型号。另外可根据实际使用需求，选配真空专用线缆、限位传感器等配件。

应用用途

该系列真空兼容定位台广泛用于多个行业。半导体领域，用于真空腔体内部晶圆定位、薄膜沉积设备样品台调节；光学行业，真空光学测试、激光光路对准、镀膜设备试样定位；科研实验室，扫描电镜配套样品微调、真空材料试验装置；理化分析仪器，真空环境下样品扫描、微量试样位置调节。产品出厂附带出厂检测资料，收到设备后，可按照说明书完成腔体安装与接线调试，调试时缓慢运动，确认运动顺畅，保障真空环境下稳定运行。