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现货 KOHZU 神津精机 真空精密旋转平台
产品简介

现货 KOHZU 神津精机 真空精密旋转平台
KOHZU 神津精机,日本精密定位设备厂商,专注精密位移平台、电动滑台、手动微调台研发制造。依托交叉滚子导轨技术,产品定位精度高,广泛用于光学、半导体、车载摄像模组等领域。

产品型号:MVSA13A-RM01
更新时间:2026-09-22
厂商性质:经销商
访问量:29
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品牌KOHZU/神津精机价格区间1-1万
应用领域生物产业,石油,能源,道路/轨道/船舶,机械设备

现货 KOHZU 神津精机 真空精密旋转平台

现货 KOHZU 神津精机 真空精密旋转平台

KOHZU 神津精机真空兼容定位台,是专为真空腔体内精密位移控制场景开发的电动定位平台,产品分为真空兼容 X 台、真空兼容 Z 轴平台、真空兼容旋转台、真空兼容旋转平台四大类别,适配半导体、光学镀膜、真空检测、材料分析等真空环境下的样品定位、光路对准、试样微调等需求。整套平台经过真空脱气处理,低放气材料构建,可在高真空腔体环境稳定工作,满足工业设备与实验室仪器的精密运动控制要求。

参数项目真空兼容 X 台真空兼容 Z 轴平台真空兼容旋转台真空兼容旋转平台
工作环境高真空腔体高真空腔体高真空腔体高真空腔体
驱动形式步进电机驱动步进电机驱动步进电机驱动步进电机驱动
材质低出气铝合金、不锈钢低出气铝合金、不锈钢低出气铝合金、不锈钢低出气铝合金、不锈钢
放气特性低挥发、低脱气低挥发、低脱气低挥发、低脱气低挥发、低脱气
运动重复定位精度微米级微米级角秒级角秒级
线缆真空专用线缆真空专用线缆真空专用线缆真空专用线缆
安装方式底部固定安装立式安装水平安装多向安装

产品结构说明

真空兼容定位台在结构设计上和普通大气环境位移台存在明显差异。平台主体选用低放气铝合金与不锈钢基材,零部件经过高温烘烤脱气处理,减少真空环境下气体析出,避免污染腔体内部样品与光学元件。密封件选用适配真空工况的特种材质,降低出气量。X 系列真空位移台,为单轴直线运动结构,支持左右两种安装方向,适配腔体内狭小空间安装;Z 轴真空平台,实现垂直方向升降调节,用于样品高度微调;真空旋转台与真空旋转平台,负责角度回转调节,可完成样品旋转、周向定位。电机、传动机构做真空适配优化,内部润滑使用真空专用润滑脂,不会在真空环境挥发污染腔体。平台可搭配对应控制器,实现远程位移控制,方便操作人员在腔体外部完成样品位置调节。

选型要点

选型首先确认腔体真空度,确认平台可承受的真空环境,避免超出产品适用工况。其次确认运动轴类型,直线位移选择真空 X 台;高度升降调节选用真空 Z 轴平台;角度回转选用真空旋转类平台。其次确认行程、负载重量,样品与夹具总负载不能超过平台额定承载,防止运动卡顿。同时确认腔体内安装空间,核对平台外形尺寸,选择适配安装空间的型号。另外可根据实际使用需求,选配真空专用线缆、限位传感器等配件。

应用用途

该系列真空兼容定位台广泛用于多个行业。半导体领域,用于真空腔体内部晶圆定位、薄膜沉积设备样品台调节;光学行业,真空光学测试、激光光路对准、镀膜设备试样定位;科研实验室,扫描电镜配套样品微调、真空材料试验装置;理化分析仪器,真空环境下样品扫描、微量试样位置调节。产品出厂附带出厂检测资料,收到设备后,可按照说明书完成腔体安装与接线调试,调试时缓慢运动,确认运动顺畅,保障真空环境下稳定运行。


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